普賽斯PMST系列igbt性能測試儀器失效分析等,主要包括測試主機、測試夾具、工控機、上位機軟件等構成。整套系統(tǒng)采用普賽斯自主開發(fā)的測試主機,內(nèi)置多種規(guī)格電壓、電流、電容測量單元模塊。結合專用上位機測試軟件,可根據(jù)測試項目需要,設置不同的電壓、電流等參數(shù),以滿足不同測試需求。測試數(shù)據(jù)可保存與導出,并可生成I-V以及C-V特性曲線。此外,測試主機可與探針臺搭配使用,實現(xiàn)晶圓級芯片測試;也可與熱流儀、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測試需求。測試主機內(nèi)部采用的電壓、電流測量單元,均采用多量程設計,測試精度為0.1%。其中,柵極-發(fā)射極,蕞大支持30V@10A脈沖電流輸出與測試,可測試低至皮安級漏電流;集電極-發(fā)射極,蕞大支持6000A高速脈沖電流,典型上升時間為15μs,且具備電壓高速同步采樣功能;蕞高支持3500V電壓輸出,蕞高擴展到12kV,且自帶漏電流測量功能。系統(tǒng)標配C-V測試功能,支持Ciss/Coss/Crss參數(shù)及曲線測試,頻率默認1MHz,可擴展至10MHz

系統(tǒng)特點
高電壓:支持高達3.5KV高電壓測試(蕞大擴展至12kV);
大電流:支持高達6KA大電流測試(多模塊并聯(lián));
高精度:支持uΩ級導通電阻、納安級漏電流測試;
模塊化設計:內(nèi)部采用模塊化配置,可添加或升級測量單元;
測試效率高:可自動切換、一鍵測試;
溫度范圍廣:支持常溫、高溫測試;
兼容多種封裝:根據(jù)測試需求可定制夾具;
系統(tǒng)參數(shù)
項目 | 參數(shù) | |
集電極-發(fā)射極 | 蕞大電壓 | 3500V(可拓展至12KV) |
蕞大電流 | 1000A(可拓展至6000A) | |
準確度 | ±0.1% | |
大電壓上升沿 | 典型值5ms | |
大電流上升沿 | 典型值15μs | |
大電流脈寬 | 50μs~500μs | |
漏電流測試量程 | 1nA~100mA | |
柵極-發(fā)射極 | 蕞大電壓 | 300V |
蕞大電流 | 1A(直流)/10A(脈沖) | |
準確度 | ±0.05% | |
最小電壓分辨率 | 30μV | |
最小電流分辨率 | 10pA | |
電容測試 | 典型精度 | ±0.5% |
頻率范圍 | 10Hz~1MHz | |
電容值范圍 | 0.01pF~9.9999F | |
溫控 | 范圍 | 25℃~200℃ |
準確度 | ±2℃ | |
測試項目
二極管:反向擊穿電壓VR、反向漏電流IR、正向電壓VF、 正向電流IF、電容值Cd、I-V曲線、C-V曲線
三極管:V(BR)CEO、V(BR)CBO、V(BR)EBO、ICBO、VCE(sat)、VBE(sat)、IC、IB、Ceb、 增益hFE,輸入特性曲線、輸出特性曲線、C-V特性曲線
Si MOS/IGBT/SiC MOS/GaN HEMT:V(BR)DSS/V(BR)CES、IDSS/ICES、VCE(sat)、RDS(on)、VSD/VF、VGS(th)/、VGE(th)、IGSS/IGES柵極內(nèi)阻Rg、輸入電容Ciss/Cies、輸出電容、Coss/Coes、反向傳輸電容Crss/Cres、跨導gfs、輸出特性曲線、 轉(zhuǎn)移特性曲線、C-V特性曲線
光耦(四端口以下):IF、VF、V(BR)CEO、VCE(sat)、ICEO、IR、輸入電容CT、輸出電容CCE、 電流傳輸比CTR、隔離電容CIO
測試夾具
針對市面上不同封裝類型的硅基功率半導體,IGBT、SiC、MOS、GaN等產(chǎn)品,普賽斯提供整套測試夾具解決方案,可用于T0單管,半橋模組等產(chǎn)品的測試。
PMST系列功率器件靜態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng),是普賽斯儀表經(jīng)過精心設計與打造的高精密電壓/電流測試分析系統(tǒng)。該系統(tǒng)不僅具備IV、CV、跨導等多元化的測試功能,還擁有高精度、寬測量范圍、模塊化設計以及便捷的升級擴展等顯著優(yōu)勢。它能夠全面滿足從基礎功率二極管、MOSFET、BJT、IGBT到寬禁帶半導體SiC、GaN等晶圓、芯片、器件及模塊的靜態(tài)參數(shù)表征和測試需求,確保測量效率、一致性與可靠性的著越表現(xiàn)。
此外,普賽斯儀表功率半導體靜態(tài)參數(shù)測試解決方案還支持交互式手動操作或結合探針臺的自動操作,能夠在整個表征過程中實現(xiàn)高效和可重復的器件表征。同時,該方案還可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用,滿足高低溫測試需求。從皮安級、mV級高精度源表到千安級、10kV源表,普賽斯的產(chǎn)品解決了國內(nèi)企業(yè)在半導體芯片以及第三代半導體芯片測試中的儀表國產(chǎn)化問題,并在客戶IGBT產(chǎn)線上推出了多條測試示范線,應領了國內(nèi)IGBT測試的技術潮流。更多有關igbt性能測試儀器失效分析等詳情找普賽斯儀表專員為您解答























